| 年份 | 产品分类 | 收入(万元) | 收入占比(%) | 成本占比(%) | 利润占比(%) | 毛利率(%) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 2025-12-31 | 电子工艺装备 | 187869 | 96.4182 | 98.1907 | 93.1823 | 34.2019 |
| 2024-12-31 | 单片式湿法设备 | 64461 | 36.7595 | 35.8585 | 38.25 | 39.2018 |
| 2024-12-31 | 光刻工序涂胶显影设备 | 104979 | 59.8648 | 62.6206 | 55.3059 | 34.8051 |
| 2023-12-31 | 单片式湿法设备 | 60003 | 34.9475 | 32.6128 | 38.1026 | 46.3672 |
| 2023-12-31 | 光刻工序涂胶显影设备 | 106603 | 62.0881 | 66.0743 | 56.7012 | 38.8379 |
| 2022-12-31 | 单片式湿法设备 | 55003 | 39.7172 | 39.2209 | 40.5136 | 39.1671 |
| 2022-12-31 | 光刻工序涂胶显影设备 | 75710 | 54.6698 | 57.9916 | 49.3405 | 34.6542 |
| 2022-12-31 | 光刻工序涂胶显影设备 | 75710 | 54.6698 | 57.9916 | 49.3405 | 34.6542 |
| 2021-12-31 | 单片式湿法设备 | 28962 | 34.9505 | 36.4378 | 32.5324 | 35.4473 |
| 2021-12-31 | 光刻工序涂胶显影设备 | 50624 | 61.0912 | 61.2586 | 60.8189 | 37.9124 |
| 2020-12-31 | 单片式湿法设备 | 7610 | 23.1391 | 24.7329 | 20.9901 | 38.6277 |
| 2020-12-31 | 光刻工序涂胶显影设备 | 23612 | 71.7909 | 71.4029 | 72.3139 | 42.8928 |
| 2019-12-31 | 单片式湿法设备 | 9544 | 44.7768 | 40.346 | 49.851 | 51.8986 |
| 2019-12-31 | 光刻工序涂胶显影设备 | 11167 | 52.3919 | 57.5586 | 46.4752 | 41.3515 |
| 2019-06-30 | 单片式湿法设备 | 3371 | 50.3107 | 45.9982 | 54.3968 | 55.5181 |
| 2019-06-30 | 其中:清洗机 | 2034 | 30.3514 | 29.5936 | 31.0695 | 52.5626 |
| 2019-06-30 | 其中:涂胶/显影机 | 3194 | 47.6632 | 52.6941 | 42.8965 | 46.2126 |
| 2019-06-30 | 其中:去胶机 | 1134 | 16.9235 | 12.8709 | 20.7633 | 62.9983 |
| 2019-06-30 | 光刻工序涂胶显影设备 | 3194 | 47.6632 | 52.6941 | 42.8965 | 46.2126 |
| 2019-03-31 | 单片式湿法设备 | 370 | 35.9708 | 35.7392 | 36.3505 | 38.2828 |
| 2019-03-31 | 其他(补充) | 61 | 6.0029 | 3.4217 | 10.2352 | 64.5923 |
| 2019-03-31 | 其中:清洗机 | 370 | 35.9708 | 35.7392 | 36.3505 | 38.2828 |
| 2019-03-31 | 其中:涂胶/显影机 | 597 | 58.0264 | 60.8391 | 53.4143 | 34.8718 |
| 2019-03-31 | 光刻工序涂胶显影设备 | 597 | 58.0264 | 60.8391 | 53.4143 | 34.8718 |
| 2018-12-31 | 单片式湿法设备 | 7213 | 34.3507 | 32.0657 | 36.9809 | 50.0484 |
| 2018-12-31 | 其中:湿法刻蚀机 | 2463 | 11.7307 | 9.1499 | 14.7013 | 58.2614 |
| 2018-12-31 | 其中:清洗机 | 2208 | 10.5174 | 11.5315 | 9.3501 | 41.3291 |
| 2018-12-31 | 其中:涂胶/显影机 | 12037 | 57.324 | 61.295 | 52.7531 | 42.7819 |
| 2018-12-31 | 其中:去胶机 | 2541 | 12.1027 | 11.3843 | 12.9296 | 49.665 |
| 2018-12-31 | 光刻工序涂胶显影设备 | 12883 | 61.3535 | 64.0358 | 58.2659 | 44.1493 |
| 2017-12-31 | 单片式湿法设备 | 2703 | 14.237 | 13.0344 | 15.9196 | 46.6072 |
| 2017-12-31 | 其中:湿法刻蚀机 | 991 | 5.2228 | 4.3065 | 6.5048 | 51.9123 |
| 2017-12-31 | 其中:涂胶/显影机 | 13977 | 73.612 | 75.9349 | 70.3618 | 39.8409 |
| 2017-12-31 | 其中:去胶机 | 1671 | 8.8051 | 7.5011 | 10.6295 | 50.3177 |
| 2017-12-31 | 光刻工序涂胶显影设备 | 15649 | 82.4171 | 83.436 | 80.9913 | 40.9602 |
| 2016-12-31 | 其中:涂胶/显影机 | 12979 | 87.9345 | 87.663 | 88.3071 | 42.3229 |
| 2016-12-31 | 光刻工序涂胶显影设备 | 14125 | 95.6996 | 97.5398 | 93.1734 | 41.0318 |
| 年份 | 产品分类 | 收入(万元) | 收入占比(%) | 成本占比(%) | 利润占比(%) | 毛利率(%) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 2025-12-31 | 半导体设备 | 192632 | 98.8627 | 99.4269 | 97.8326 | 35.0209 |
| 2025-12-31 | 其他(补充) | 2216 | 1.1373 | 0.5731 | 2.1674 | 67.4422 |
| 2024-12-31 | 半导体设备 | 170954 | 97.4873 | 98.7753 | 95.3564 | 36.8506 |
| 2024-12-31 | 其他(补充) | 4406 | 2.5127 | 1.2247 | 4.6436 | 69.6232 |
| 2023-12-31 | 半导体设备 | 167937 | 97.8105 | 98.9854 | 96.2226 | 41.8373 |
| 2023-12-31 | 其他(补充) | 3759 | 2.1895 | 1.0146 | 3.7774 | 73.3694 |
| 2022-12-31 | 半导体设备 | 136025 | 98.2231 | 99.0939 | 96.8259 | 37.851 |
| 2022-12-31 | 其他(补充) | 2460 | 1.7769 | 0.9061 | 3.1741 | 68.5882 |
| 2021-12-31 | 半导体设备 | 81345 | 98.1639 | 99.2378 | 96.4178 | 37.4048 |
| 2021-12-31 | 其他(补充) | 1521 | 1.8361 | 0.7622 | 3.5822 | 74.2973 |
| 2020-12-31 | 半导体设备 | 31831 | 96.7811 | 97.8403 | 95.3529 | 41.9541 |
| 2020-12-31 | 其他(补充) | 1058 | 3.2189 | 2.1597 | 4.6471 | 61.4763 |
| 2019-12-31 | 半导体设备 | 20712 | 97.1688 | 97.9046 | 96.3261 | 46.2118 |
| 2019-12-31 | 其他(补充) | 603 | 2.8312 | 2.0954 | 3.6739 | 60.4907 |
| 2019-06-30 | 生产制造业 | 6565 | 97.9739 | 98.6922 | 97.2933 | 50.9911 |
| 2019-06-30 | 其他(补充) | 135 | 2.0261 | 1.3078 | 2.7067 | 68.5965 |
| 2019-03-31 | 生产制造业 | 968 | 93.9971 | 96.5783 | 89.7648 | 36.1771 |
| 2019-03-31 | 其他(补充) | 61 | 6.0029 | 3.4217 | 10.2352 | 64.5923 |
| 2018-12-31 | 生产制造业 | 20096 | 95.7042 | 96.1015 | 95.2468 | 46.2666 |
| 2018-12-31 | 其他(补充) | 902 | 4.2958 | 3.8985 | 4.7532 | 51.4384 |
| 2017-12-31 | 生产制造业 | 18353 | 96.654 | 96.4705 | 96.9109 | 41.792 |
| 2017-12-31 | 其他(补充) | 635 | 3.346 | 3.5295 | 3.0891 | 38.4817 |
| 2016-12-31 | 生产制造业 | 14350 | 97.2245 | 98.7231 | 95.1672 | 41.2525 |
| 2016-12-31 | 其他(补充) | 409 | 2.7755 | 1.2769 | 4.8328 | 73.3827 |
| 年份 | 产品分类 | 收入(万元) | 收入占比(%) | 成本占比(%) | 利润占比(%) | 毛利率(%) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 2025-12-31 | 港澳台及海外 | 14498 | 7.441 | 5.0334 | 11.8364 | 56.2945 |
| 2025-12-31 | 大陆 | 178134 | 91.4217 | 94.3935 | 85.9962 | 33.2894 |
| 2025-12-31 | 其他(补充) | 2216 | 1.1373 | 0.5731 | 2.1674 | 67.4422 |
| 2024-12-31 | 港澳台 | 5262 | 3.0012 | 2.4004 | 3.9951 | 50.151 |
| 2024-12-31 | 国外 | 5549 | 3.1648 | 2.1296 | 4.8773 | 58.0606 |
| 2024-12-31 | 大陆 | 160141 | 91.3213 | 94.2454 | 86.484 | 35.6785 |
| 2024-12-31 | 其他(补充) | 4406 | 2.5127 | 1.2247 | 4.6436 | 69.6232 |
| 2023-12-31 | 港澳台 | 1873 | 1.0913 | 0.8459 | 1.423 | 55.4516 |
| 2023-12-31 | 大陆 | 166063 | 96.7191 | 98.1395 | 94.7996 | 41.6837 |
| 2023-12-31 | 其他(补充) | 3759 | 2.1895 | 1.0146 | 3.7774 | 73.3694 |
| 2022-12-31 | 港澳台 | 1362 | 0.9837 | 0.8569 | 1.1871 | 46.3374 |
| 2022-12-31 | 大陆 | 134663 | 97.2393 | 98.237 | 95.6387 | 37.7652 |
| 2022-12-31 | 其他(补充) | 2460 | 1.7769 | 0.9061 | 3.1741 | 68.5882 |
| 2021-12-31 | 港澳台 | 2214 | 2.6718 | 3.1288 | 1.9289 | 27.4925 |
| 2021-12-31 | 大陆 | 79131 | 95.4921 | 96.109 | 94.4889 | 37.6821 |
| 2021-12-31 | 其他(补充) | 1521 | 1.8361 | 0.7622 | 3.5822 | 74.2973 |
| 2020-12-31 | 港澳台 | 157 | 0.4804 | 0.4799 | 0.481 | 42.6386 |
| 2020-12-31 | 大陆 | 31673 | 96.3007 | 97.3604 | 94.8719 | 41.9507 |
| 2020-12-31 | 其他(补充) | 1058 | 3.2189 | 2.1597 | 4.6471 | 61.4763 |
| 2019-12-31 | 港澳台 | 496 | 2.3292 | 2.0206 | 2.6825 | 53.6883 |
| 2019-12-31 | 国外 | 199 | 0.9338 | 0.7195 | 1.1793 | 58.8697 |
| 2019-12-31 | 大陆 | 20016 | 93.9058 | 95.1645 | 92.4643 | 45.9004 |
| 2019-12-31 | 其他(补充) | 603 | 2.8312 | 2.0954 | 3.6739 | 60.4907 |
| 2019-06-30 | 港澳台地区 | 496 | 7.4082 | |||
| 2019-06-30 | 平衡项目 | 0 | 0.0 | |||
| 2019-06-30 | 大陆地区 | 6069 | 90.5657 | |||
| 2019-06-30 | 其他(补充) | 135 | 2.0261 | |||
| 2019-06-30 | 其中:西南地区 | 1411 | 21.0668 | |||
| 2019-06-30 | 其中:西北地区 | 288 | 4.3107 | |||
| 2019-06-30 | 其中:华南地区 | 724 | 10.8094 | |||
| 2019-06-30 | 其中:华北地区 | 302 | 4.5151 | |||
| 2019-06-30 | 其中:华东地区 | 3341 | 49.864 | |||
| 2019-03-31 | 大陆地区 | 968 | 93.9972 | |||
| 2019-03-31 | 其他(补充) | 61 | 6.0028 | |||
| 2019-03-31 | 其中:华东地区 | 968 | 93.9972 | |||
| 2018-12-31 | 港澳台 | 1205 | 5.7429 | |||
| 2018-12-31 | 大陆 | 18891 | 89.9613 | |||
| 2018-12-31 | 其他(补充) | 902 | 4.2958 | |||
| 2018-12-31 | 其中:西北 | 1406 | 6.6975 | |||
| 2018-12-31 | 其中:华南 | 1181 | 5.625 | |||
| 2018-12-31 | 其中:西北 | 1003 | 4.7766 | |||
| 2018-12-31 | 其中:华南 | 1041 | 4.9591 | |||
| 2018-12-31 | 其中:华南 | 13050 | 62.1462 | |||
| 2018-12-31 | 其中:西北 | 1208 | 5.7569 | |||
| 2017-12-31 | 港澳台 | 1850 | 9.7478 | |||
| 2017-12-31 | 大陆 | 16502 | 86.9062 | |||
| 2017-12-31 | 其他(补充) | 635 | 3.346 | |||
| 2017-12-31 | 其中:华南 | 1874 | 9.8719 | |||
| 2017-12-31 | 其中:西北 | 972 | 5.124 | |||
| 2017-12-31 | 其中:华南 | 104 | 0.5491 | |||
| 2017-12-31 | 其中:华南 | 13550 | 71.3611 | |||
| 2016-12-31 | 港澳台 | 8453 | 57.2736 | |||
| 2016-12-31 | 大陆 | 5896 | 39.9509 | |||
| 2016-12-31 | 其他(补充) | 409 | 2.7755 | |||
| 2016-12-31 | 其中:华南 | 203 | 1.3782 | |||
| 2016-12-31 | 其中:西北 | 170 | 1.1581 | |||
| 2016-12-31 | 其中:华南 | 128 | 0.8686 | |||
| 2016-12-31 | 其中:华南 | 5394 | 36.5461 |